据东方晶源发布，近日，东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机国内集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自 2021 年 6 月首台 12 英寸 CD-SEM 出机后，东方晶源在电子束量测领域再次取得重大进展。 东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测设备（型号 ...

免责声明：转载仅为了传达一种不同的观点，不代表今日半导体对该观点赞同或支持，内容如有侵权，请联系本部删除！手机微信同15800497114。 转东方晶源 近日，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机国内知名集成电路制造和整体方案提供商燕东微 ...

东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。 2023年初，东方晶源推出DR-SEM r600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。

恒韧智能是一家专注于CD-SEM设备设计研发的公司，由CD-SEM领域资深人士创立。公司总部位于北京市丰台区，拥有一支在CD-SEM领域经验丰富的核心团队，致力于CD-SEM设备的研发、设计和销售。 CD-SEM（Critical Dimension Scanning Electron Microscope）是一种非常重要的半导体 ...

东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。 2023年初，东方晶源推出DR-SEM r600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。

2024年6月14日，惠然微电子顺利出机全自主研发的首台半导体关键尺寸量测设备(Critical Dimension Scanning Electron Microscope, 简称CD-SEM)，标志着公司在半导体量检测领域取得了阶段性突破，为半导体量检测设备的国产化注入了新的活力。 芯片制造需要上千道工序，其中 ...

近日，国内半导体制造良率管理设备厂商东方晶源在北京总部举行了国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）出机仪式，正式宣布斩获订单并出机中芯国际。东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海先生，北京市经信委、亦庄管委会、国家02专项以及东方晶源客户 ...

6月30日，东方晶源在北京总部隆重举行国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）出机仪式，正式宣布斩获订单并出机中芯国际。此次出机仪式，标志着东方晶源继2019年攻克电子束缺陷检测技术后，再一次取得重大产品技术突破，填补了国产关键尺寸量测设备（CD-SEM ...

集微网消息，近日，青田恒韧智能科技有限公司（简称“青田恒韧”）宣布完成Pre-A轮融资，由方富创投、明德投资共同投资。 青田恒韧成立于2022年，注册资本125万元，是一家半导体前道电子束量测CD-SEM设备研制商，致力研发并生产完全替代Hitachi CG5000的CD-SEM ...

日前，“2024集成电路产业链协同创新发展交流会暨中国集成电路创新联盟大会”在北京举行，会上颁发了“第七届集成电路产业技术创新奖”（简称IC创新奖）。经过申报、受理、评选等环节，东方晶源自主研发的关键尺寸量测设备CD-SEM成功斩获第七届IC创新奖 ...

近日，青田恒韧智能科技有限公司（以下简称“青田恒韧”）完成了新一轮融资，由启迪之星投资，资金将用于半导体前道电子束量测设备CD-SEM的研发制造。 据悉，电子束检测设备主要利用电子束扫描wafer表面并接收其散射信号，从而获取wafer表面信息的高精度 ...