Cadence公司的Quantus中提供的IVMF功能在各个工艺节点都具有很高的精度,对于Metal Fill的模拟可以帮助工程师在布局绕线的同时考虑到Metal Fill对于芯片整体的影响,从而有效提高整体的设计效率,保证整体设计周期。 一、Dummy Metal fill对于先进工艺的影响 化学机械 ...