2002年，一个根本性的转变发生了。林本坚提出将水引入光刻系统的概念，彻底改变了技术演进的方向。这个构想的核心是利用液体折射率高于空气的特性，缩短光的等效波长。光学分辨率的基本公式是R=k₁·λ/NA，其中λ是光源波长，NA是数值孔径。而数值孔径NA ...