总而言之，这项研究通过展示一种使用溶胶-凝胶PZT薄膜制备空气耦合PMUT的新方法，提供了一种具有良好的可靠性且对设备要求低的PMUT空中超声解决方案。 首先，优化了溶胶-凝胶法沉积PZT薄膜的工艺。 本文所提出的PZT薄膜的d₃₁为−33.9 pC/N。

基于PZT的可调窄带光源法 光波经隔离、耦合输入FBG，被FBG反回的光波经探测器接收输入数字示波器；在可调谐窄带光源底部安装PZT压电陶瓷，对PZT通以锯齿波或正弦波电压调制，窄带光源的光谱在一定范围进行扫描，波长等于传感光纤光栅反射波长时，探测器输出最强。通过数字示波器，可画出 ...

ULVAC（爱发科）作为全球领先的PZT薄膜量产设备厂商，已积累了丰富的产业经验，并为我国多条MEMS中试线和代工厂提供制造设备和技术支持。 在本课程中，老师将为学员分享PZT薄膜制备方法、常见问题和解决方案，并结合典型压电MEMS器件讲解制造工艺流程。

In addition to its gold-standard PZT transducer technology, the Vave Universal Probe is engineered for portability. A patented probe head cover and a swappable battery minimize downtime and ensure ...

Effectively a router for photons, the transducer bridges the large energy gap between microwave and optical photons, thus enabling control of microwave qubits with optical signals generated many ...

Quantum transducer A niobium microwave LC resonator (silver) is capacitively coupled to two hybridized lithium niobate racetrack resonators in a paperclip geometry (black) to exchange energy between ...