微波等离子体化学 气相 沉积（MPCVD）是目前制备高质量金刚石薄膜和单晶的核心设备。金刚石因其极宽禁带（5.5 eV）、高击穿场强、优异的热导率和光学透明性，在量子信息、功率电子器件、光子学及先进热管理材料等前沿方向展现出巨大潜力。