在旋涂中，旋转基板的速度和加速度会影响薄膜的厚度和质量。基板的转速影响离心力和空气湍流，而其加速度则影响薄膜的性能。初始旋转周期至关重要，因为树脂干燥很快，并且高达50%的基础溶剂可以在最初的几秒钟内蒸发。首选快速“snap”工艺，以均匀 ...